中古 OKAMOTO KSK-Z2 #170020 を販売中
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OKAMOTO KSK-Z2は、高精度ウェーハ用に設計された完全自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。最大6インチウエハー用に設計されており、完璧な平面仕上げが可能です。表面鏡面研磨やサンプルの電気特性向上にも適しています。KSK-Z2の自動化された制御ユニットは、高度なプロセス精度を保証します。このマシンには、メインマシンコントローラに接続されたユーザーフレンドリーなタッチスクリーンパネルが装備されています。プロセス速度、圧力、研削方向、研削サイクル、およびその他のパラメータなど、研削、ラッピング、研磨プロセスのさまざまなパラメータの設定を提供します。OKAMOTO KSK-Z2は3つのユニットで構成されています。1つ目は、プラテンと2つの砥石で構成される研削ユニットです。このユニットは、正確なステップ移動と高さ制御を使用して、必要な側面にウェーハを研削します。研削プロセスは、精密な光学センサによって監視され、研削プロセス全体で必要な精度が維持されていることを確認します。2番目のユニットはラッピングユニットです。このユニットは、互いに回転する2つの精密ダイヤモンドラッピングディスクを備えた回転ツールで構成されています。このユニットは、高精度で表面品質を提供します。必要な深さとサイズに正確にウェーハの粒子を流すために使用されます。ラッピングプロセスは、必要な表面品質を保証する精密な制御機械によって制御されます。最終的な単位は磨く単位です。ドライブモーターで駆動される大きな研磨板が含まれています。粗研磨から滑らかな研磨に至るまでの研磨工程です。研磨プロセスは光学センサーで監視され、必要な表面精度と鏡面仕上げを実現します。研磨工程では、追加の洗浄工程も行われます。これには、洗浄リンスとガンスプレーが含まれ、表面から研磨スラリーを除去します。KSK-Z2は、ウェーハの精密研削、ラッピング、研磨に理想的なソリューションです。その精密な制御ツールは、一貫した仕上がり、正確な結果、そして最適な生産性を保証します。モダンなタッチスクリーンパネルにより、明確で簡単なユーザーエクスペリエンスを提供します。
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