中古 OKAMOTO IGM 15NC III #293811278 を販売中
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ID: 293811278
ヴィンテージ: 2014
Grinder
Swing table: Φ 600 mm
Swing inside chuck cover: Φ 260 mm
Minimum processing diameter: Φ 6 to 150 mm
Maximum processing length: 125 mm
X-Axis:
Maximum travel distance (cutting feed): 170 mm
Minimum setting unit: Φ 0.0001 mm
Grinding feed rate: 0.001-10000 mm/min
Rapid forward speed (manual, automatic): 10000 mm/min
Z Axis:
Maximum movement: 500 mm
Minimum setting unit: 0.0001 mm
Grinding feed rate: 0.001-15000 mm/min
Rapid forward speed (manual, automatic): 15000 mm/min
Spindle tip outer diameter: Φ 140 mm g7
Main shaft taper hole: Morse taper
Through hole diameter: Φ 50 mm
Rotation speed: 100 to 850 min
Turning angle: -5° to 15°
Wheel spindle (AC Spindle motor): Bil3/10000
Spindle (AC Servo motor): B12/3000iS
Wheelhead feed (AC Servo motor): α C8/2000i
Table feed (AC servo motor): α C8/2000i
Water injection pump: 180W/2P
Pumping pump: 180W/2P
Automatic liquid temperature regulator: 1740 W (50 Hz) / 2P
Dust collector: 400W
Frontage: 2525 mm
Power supply: 200 V, 8 kVA, 3-Phase, 50/60 Hz
2014 vintage.
OKAMOTO IGM 15NC IIIは、半導体、マイクロエレクトロニクス製造用途向けに設計された、高精度かつ高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。最先端の技術と精密エンジニアリングを組み合わせ、半導体デバイスの製造に使用される処理ウエハの優れた性能と品質を提供します。このシステムは、タイトな公差、優れた表面仕上げ、およびウェーハ加工の高い生産性を実現するのに最適なさまざまな機能を備えています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと高度なオートメーション機能を備えたIGM 15NC IIIは、重要な製造プロセスに効率的で信頼性の高い操作を提供します。半導体デバイス製造の基材として使用されるシリコンディスクであるウェーハの研削、ラッピング、研磨用に特別に設計されています。精密研削プロセスは、ウェーハ表面から余分な材料を取り除き、所望の厚さプロファイルと平坦性を実現し、ウェーハ全体の均一性と一貫性を確保します。OKAMOTO IGM 15NC IIIのラッピングと研磨機能により、ウェハ表面をさらに洗練し、粗さを低減し、表面品質を向上させます。これらのプロセスは、精密な寸法制御と表面整合性を実現することにより、半導体デバイスの性能と信頼性を向上させるために不可欠です。堅牢な構造と安定したフレームにより、振動を最小限に抑え、ウェーハ加工時の精度を確保します。エアベアリングスピンドル、リニアモータ、精密測定システムなどの高精度コンポーネントを搭載し、ウェーハ加工におけるサブミクロンレベルの精度を実現しています。IGM 15NC IIIは、特定の要件に基づいて研削、ラッピング、および研磨パラメータを制御するためのプログラマブルパラメータを備えたカスタマイズ可能なプロセス機能を提供します。この柔軟性により、さまざまなウェーハ材料、サイズ、およびアプリケーションのプロセスパラメータを最適化し、効率と一貫性を備えた優れた結果を提供できます。このツールは、精密な処理機能に加えて、メンテナンスと保守性を容易にし、ダウンタイムと長期的な信頼性を最小限に抑えるように設計されています。高度な診断ツールとモニタリングシステムを備えており、問題を迅速に検出および対処し、稼働時間と運用効率を最大化します。OKAMOTO IGM 15NC IIIの統合された安全機能は、オペレータの安全性を確保し、ウェーハ処理中の機密部品を保護するための業界標準および規制に準拠しています。この資産は、オペレータに快適で効率的な作業環境を提供するために人間工学に基づいて設計されています。全体として、IGM 15NC IIIは最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルであり、半導体製造アプリケーションにおいて比類のない精度、性能、信頼性を提供します。高度な機能、ユーザーフレンドリーなインターフェース、カスタマイズ可能な機能により、効率と一貫性を備えた高品質のウェーハ処理を実現しようとするメーカーにとって理想的な選択肢です。
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