中古 OKAMOTO GNX12PB #9396515 を販売中

OKAMOTO GNX12PBウエハ研削、ラッピング&研磨装置は、シリコン、石英、セラミックなどの直径300mmまでのウエハ基板を加工するように設計されています。このシステムは、2つの研削/ラッピング/研磨ヘッドを備えたプロセスチャンバーを備えています。このチャンバーには、ウェーハを研削砥石と接触させ、正確な研削、ラッピング、研磨を行えるように設計された、速度制御されたウェーハホルダーも装備されています。空気圧制御の粉砕車輪は合計12個あり、各プロセスに合わせて速度を調整できます。研削砥石には、研削、ラッピング、研磨と異なる結果を得るために交換することができるブレードが取り付けられています。このユニットにはGraph-X Controller/Operatorパネルが内蔵されており、直感的なメニュー駆動のユーザーインターフェイスが含まれており、カスタムアプリケーション用に簡単に設定できます。メニューにはプロセスパラメータとワックス除去機能もあります。機械に一貫した結果のためのすべての操作の間に部屋内の精密な温度調整を維持する感覚機械があります。さらに、高品質のエアフィルトレーションツールにより、GNX12PBは汚染の転送なしで効率的なウェーハ洗浄を保証します。これは、プロセス中にクリーンルーム環境が汚染されないように真空チャンバー付きの排気資産を持っています。高精度、低ランニングコスト、信頼性に優れたハイエンドモデルで、研削、ラッピング、研磨などのウェハ加工に最適です。OKAMOTO GNX12PBはメンテナンスも容易に設計されており、温度や騒音の変化に耐えられる構造となっており、自動生産ラインに適しています。高精度・高精度な基板の研削、ラッピング、研磨に欠かせないツールです。