中古 OKAMOTO GNX 300 #9136113 を販売中

OKAMOTO GNX 300は、半導体製造プロセス向けに設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、堅牢な構造、精密機械、高度な制御ユニットを備えており、均一性の高い滑らかな平面化されたウェーハ表面を生成します。OKAMOTO GNX300は、正確なウェーハ位置決めのためのクローズドループ制御を備えた高精度スピンドルモータを搭載しています。このモーターは表面の粉砕プロセスのより大きい制御を可能にし、表面の滑らかさおよび均等性の高い300mmまでのウエハの機能を作り出します。スピンドルモータは、最大6000RPMの速度で最大12Nmのトルクを発生させることができます。さらに、精密なクローズドループ制御により、複数のパスで高い精度を維持し、表面の不規則性を低減し、より良い結果を生み出すことができます。さらに、GNX-300には、シングルサイドとダブルサイドの両方のラッピングシステムが含まれています。これにより、ウェーハエッジとサーフェスのラッピングが可能になり、優れた表面平面化と均一性を提供します。このツールは、0.3µm RAまでの表面仕上げで、非常に細かいラッピング効果を達成することができます。また、高速処理によりセットアップとサイクルタイムを短縮し、ウェーハの結果を安定させることができます。GNX 300には、デュアルベルト研磨を含む研磨アセットも含まれています。これにより、ウェーハの両面を均一な結果で同時に研磨することができます。研磨モデルは、ウェーハ表面の微細な仕上げを実現し、1nmまでの表面粗さを実現します。最後に、OKAMOTO GNX-300には、複数のプロセスレシピとプロセスモニタリング機能を備えた高度な制御装置があります。これにより、精密な精度で研削、ラッピング、研磨のための柔軟で信頼性の高いプロセス制御を提供します。このシステムには直感的なユーザーインターフェイスがあり、オペレータはユニットのプロセス効率を向上させ、さまざまなウエハータイプとサイズで一貫した結果を保証することができます。要約すると、GNX300は、高精度機能、高度な制御機能、およびプロセスの信頼性と性能を向上させるための堅牢な構造を提供する包括的なウェーハ研削、ラッピング、研磨機を提供します。このツールは、半導体生産プロセスでの使用に最適であり、ウェーハ処理の複雑なプロセスを手間のかからないものにします。また、OKAMOTO GNX 300は高精度かつ高出力で高品質な結果を出すことができます。