中古 OKAMOTO GNX 200 #9394971 を販売中

OKAMOTO GNX 200は、優れた性能を発揮するウエハ研削・ラッピング・研磨装置です。このウェーハ研削、ラッピング&研磨システムは、高精度ウェーハの製造と研磨のための技術の組み合わせを使用しています。OKAMOTO GNX200の高度な設計と優れた技術により、最適なプロセス効率で超微細な表面仕上げが可能です。機械は、精密サポート機構と完全なウエハハンドリングツールとともに、統合された研削、ラッピング&研磨ヘッドで構成されています。インテグラルグラインディングヘッドは、直径100mmまでの研磨および研磨用のSDCインデクサを備えた単点ダイヤモンド研削ホイールを使用しています。また、研削・研磨工程でウェーハを支える鋼製バッキングプレートも付属しています。ラッピングヘッドは、1つのウェーハ上で最大4つの反対面を同時に高精度にラッピングすることができます。ウェーハとの均一な接触を確保する自動レベリングチャックを備えています。ラッピングプレートは、ウェーハの研磨ニーズや材料に応じて、さまざまな材料やサイズで利用できます。研磨は、エッジディッシュを容易に塗布し、軽減するように設計された研磨パッドを使用して行われます。このパッドは、UPとSSPの両方のウェーハを研磨することができ、さまざまなウェーハ材料や用途のさまざまなサイズや材料で利用できます。ウェハハンドリングアセットは、パワフルでありながら使いやすい3Dモーションコントロールモデルです。単一の空圧駆動ハンドリングテーブルを使用して、ラッピング/研磨プロセスを正確にサポートできます。Z軸の調整により、研削/ラッピングプレートとウェーハ表面の初期ギャップを均一に保つことができます。全体として、GNX 200は、優れた性能、高精度、およびさまざまなウェーハ処理要件に適合する柔軟性を提供する高度なウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。このシステムの効率的な設計により、ウエハの損傷を最小限に抑え、同時に超微細な表面仕上げを実現します。