中古 OKAMOTO ASM-420M #9216418 を販売中

OKAMOTO ASM-420Mは、ウエハ研削、ラッピング、研磨装置で、完全な自動化されたソリューションとして動作するように設計されています。このシステムにはデュアルスピンドルが装備されており、それぞれ最大8インチの直径のウェーハを処理することができます。2つのスピンドルは、研削盤と研磨機の操作を独立して制御し、精密な表面仕上げ結果を得ることができます。このユニットは、最適なプロセスと生産性のために自動的に校正するようにプログラムされており、プログラミング時間を短縮できます。ウエハをホルダーに入れ、スピンドルホルダーに固定することで研磨・研磨を実現しています。ウエハーを配置すると、隙間と接触を検出して表面プロファイルと欠陥を測定します。研削工程は、各スピンドルに配置された2つの研削砥石によって達成されます。スピンドルは線形加速と減速を持ち、ウェーハの精密な研削を確保するために調整可能です。研磨プロセスは、垂直軸に位置する部品交換研磨機を介して行われます。これにより、研磨パッドは円形の動きで上下左右に動くことができます。その後、研磨・研磨後、ウエハをバックエンドに移します。このモジュールは、ウェーハ脱着機とオプションの後処理モジュールで構成されています。変性ツールは、回転ブラシと化学溶液を使用して、表面から最後に残った汚染物質を除去します。後処理モジュールは、化学的手段を用いて検査を行い、表面粗さを調整するために使用されます。ワークフロー全体は、研削および研磨温度、ギャップ、および接点を測定および記録するプロセス監視アセットによって監視および規制されます。このモデルは、プロセスパラメータを完全に制御し、大量のウェーハを処理しながら一貫した品質を維持することができます。ASM-420Mは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための効率的なソリューションであり、優れた柔軟性と拡張性を提供します。高度な性能とプロセス制御により、信頼性と再現性の高い結果が保証され、自動化された操作によりセットアップとプログラミング時間が短縮されます。