中古 OKAMOTO ASM-1HB #9143753 を販売中

OKAMOTO ASM-1HBは、半導体製造用に設計された精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。直径25mmまでのシリコンウエハを研磨・研磨することが可能で、超精密操作を可能にします。システムはいくつかのコンポーネントで構成されています。本体、振動フィーダー、ウェーハリテナー、研削および研磨ラッピングリング、それぞれがASM-1HBユニット用に特別に設計されています。OKAMOTO ASM-1HBの本体には、モーターアセンブリとコントローラが収納されています。このアセンブリは均一で一貫した粉砕を保障するためにクリーンな冷却剤の一定した流れのウェーハを粉砕できます。高トルク定格のDCブラシレスモータを搭載し、可変速度、最大120rpmの範囲、回転と横方向の両方の動作を生成する駆動機を備えています。振動フィーダは、研削チャンバへのウェーハの搬送に使用されます。それは鋼鉄ホッパー、ばねの供給の積込み機、バイブレーター・モーターおよび上部の送り装置のコンベヤーから成っています。このフィーダは、シリコンウェーハの搬送プロセス中の汚染を最小限に抑えるように設計されています。ウェーハリテナーは、加工されたウェーハを所定の位置に保持し、研磨および研磨プロセスを実施します。この部品はステンレス鋼から成り、高められた安定性のために設計されています。また、2つの独立した調整可能な振動減衰システムを備えており、研削および研磨プロセスの制御を強化しています。最後に、研削と研磨ラッピングリングは、ASM-1HBツールで使用するために特別に設計されています。これらのリングは、研削およびラッピング工程中のウェーハの損傷を低減するとともに、比類のない量の表面均一性を生成することができます。各リングには、すべての研磨作業が目的の目標に到達するように特別に設計されたホーニングホイールも含まれています。OKAMOTO ASM-1HBは、半導体生産におけるシリコンウェーハの精密研削・研磨用に設計された、堅牢で信頼性の高い研削盤、ラッパー、研磨機です。高トルク定格モータ、振動フィーダー、ウェーハリテナー、特殊研削・研磨ラッピングリングを搭載し、シリコンウェーハの高品質で均一な仕上がりを実現しています。ウェーハ加工用途において優れた結果を得るための理想的な資産です。