中古 OKAMOTO ASM 1G #9258192 を販売中

OKAMOTO ASM 1Gはウェーハ研削、ラッピング、研磨装置で、ウェーハの表面を仕上げ、その後の工程に備えます。このシステムは、メーカーが高品質のサーフェスを作成することを可能にする幅広い機能を提供します。このユニットは、4インチおよび8インチのウェーハを含む幅広いウェーハ方向に対応できるよう、高いスループットと汎用性を備えています。また、片面または両面研削、両面研磨も可能です。高効率のOKAMOTO研削ユニットを搭載し、最大30,000rpmの高速動作を実現しています。研削ユニットは、周波数コンバータによって駆動される高性能の電気機械工具を使用し、振動効果の自己補償を提供します。単位は単一のキャビネットで粉砕プロセスのための制御された環境を保障するために囲まれます。ラッピングと研磨プロセスは、3段ループ研磨車両である専用ラッピングユニットによって実行されます。プロダクトは段階から段階に自動的に動かされ、変数は望ましい表面の終わりを達成するために置くことができます。ユニットは、内蔵ポンプ資産によって分配される高密度めっきソリューションを採用し、また、制御環境を維持するために、単一のキャビネットに囲まれています。ASM 1Gには、ウェーハをモデルに直接ロードできるロード/アンロードステーションも含まれています。荷降ろしステーションには、人員の安全性とプロセスの正確性を確保するための多くの安全機能が装備されています。OKAMOTO ASM 1Gは、高いスループットと一貫した結果でウェーハの優れた表面品質を達成できる先進的な高性能機器です。高速研削、ラッピング、研磨を組み合わせることで、高度な半導体製造技術に必要な表面仕上げを実現します。