中古 OKAMOTO ASM-100A #9257632 を販売中

OKAMOTO ASM-100Aは、半導体、化合物半導体、先端材料基板などの各種ウェーハ材料の加工・研磨用に設計された精密ウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。このシステムは、高い精度で均一な平坦性をウェーハにもたらすための高効率で費用対効果の高いユニットです。機械全体にはメインユニットといくつかの独立したプロセスステーションがあり、プロセス制御、研削、アライメント、ラッピング、研磨など、さまざまな作業に使用できます。3インチから8インチまでの材料サイズを加工でき、厚さ100ミクロンまでのウェーハを磨くことができます。ASM-100Aツールは、精密な研削および研磨操作に対応するために、さまざまな機能を備えて設計されています。精密直流（DC）モータを搭載し、校正調整を必要とせず、スムーズで均一な動作を実現します。さらに、ベルジャーアセットを使用して、プロセス中のウェーハの汚染を防ぎ、さらに研磨も保証する自動ラッピングモデルを使用しています。装置の研削板は、調整可能なスピードコントローラ内に収納された急速に回転するダイヤモンドメッキディスクで構成されています。これにより、デジタルコントロールパネルを使用してリアルタイムで監視される20〜1000 RPMの目的の研磨速度を選択できます。さらに、ダイヤモンドメッキディスクは、研削と研磨の間に高い精度を確保するために動的にバランスされています。ラッピングステーションは空気圧式ラッピングプレートで構成され、粒子を研磨することで基板の表面粗さを低減するように設計されています。研磨ステーションは、惑星のような研磨ヘッドで構成されており、研磨機と呼ばれる高性能機器が装備されています。この設計された装置は、研磨中に同時に2方向に回転するように設計されており、バリエーションを最小限に抑えながら均一で正確な研磨結果を得ることができます。OKAMOTO ASM-100Aは、お客様の厳しい仕様に合わせて設計された、柔軟で強力なプロセスを提供するように設計されています。システムは厳しい公差を満たすように設計されており、ユーザーに高品質の結果とパフォーマンスの両方を提供します。その機能の範囲は、ウェーハの精密研磨を可能にします、幅広い用途に合わせて柔軟なプロセス設定で。