中古 OKAMOTO ASM-100A #9143377 を販売中

OKAMOTO ASM-100Aは、マイクロエレクトロニクス業界のウェーハから材料を除去するために使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウエハサイズは直径150mm、厚さ11mmまで対応可能です。システムは6つのワークステーションで構成されています。ラッピング/研磨ステーション、研磨パッドステーション、手動研削ステーション、半自動研削ステーション、ホイール準備ステーションと後処理ステーション。ラッピング/研磨ステーションは、ダイヤモンドラッピングと研磨媒体でウェーハを磨くために、回転運動とリニアモーションを使用しています。それは最低のゆがみか損傷の高精度の表面を作り出すことができます。研磨パッドステーションにはゴム研磨パッドが装備されており、正確で制御可能なプロセスの自動平坦度モニタリングを提供します。直径12インチまでのウェーハに対応可能です。マニュアル研削ステーションには、ダイヤモンドホイールドレッサーによる手動研削を可能にする高精度スピンドルが装備されています。このステーションは、ウェーハ表面からの汚染物質の精密研削と除去に使用できます。半自動研削ステーションはダイヤモンド研削ホイールで研削・研磨が可能です。それは高速で作動し、ミクロンの正確さのレベルに達することができます。ホイール準備ステーションは、研削ホイールをドレッシングし、最適な結果を得るためにローディングパラメータを調整するために設計されています。それはドレッシングプロセスの正確な制御そして監視を可能にします。最後に、ポストトリートメントステーションは、均一な仕上げのためにウェーハ表面をきれいにして吹くために使用されます。このユニットは高精度で効率的で、ワークステーションの安定性と制御性が高いため、欠陥率が低くなります。また、高度な研磨プロセスにより、高品質の光学表面を生成することができます。この機械の高速処理およびオートメーション機能により、手作業でのプロセスに比べて迅速なターンアラウンドとコスト削減が可能です。