中古 NTT-AT ATP3000-XO1 #9282249 を販売中

NTT-AT ATP3000-XO1は、半導体・MEMSデバイス製造向けに優れた機械的平面化を実現するウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。このシステムは、4〜6インチまたは8インチのウェーハに対応するように設計されており、特許取得済みの二軸リニアモータ駆動ユニットを使用してサブミクロンの精度と再現性を提供します。統合されたCNCコントローラは、マシンを駆動し、送り速度、スピンドル速度、圧力などのパラメータのプログラミングを可能にするフル機能のユーザーインターフェイスを備えています。このツールの自動研削およびラッピング要素は、最終ウェハの表面品質と精度の均一性を確保するために、フィードレート、速度、および圧力の最適な組み合わせを選択するように自動的に調整されます。このアセットは、固定およびサーボ制御の研削およびラッピングプレートの両方を採用するように設計されています。固定プレートは一貫した物理的属性を持つ固定設計で、サーボ制御プレートはソフトウェアを使用して調整して目的の研削パターンを作成できます。このモデルの堅牢な駆動制御システムは、最先端のモーター制御と相まって、ウェーハを損傷させない最適な研磨および研磨プロセスを保証します。メインの研磨・研磨装置に加え、ウェーハバリ取りシステムATP3000-XO1内蔵しています。このバリ取りユニットは、特殊な工具と技術を使用して、ウェーハ上の凹凸面を効果的に滑らかにし、損傷や汚染を引き起こすことはありません。統合されたCNC制御のバリ取り機械はまた作り付けの用具のチェンジャーを特色にします、従ってさまざまなタイプのバリ取り用具は最適の効率のためにすぐに交換することができます。オールステンレス構造のNTT-AT ATP3000-XO1は、過酷な運用環境において優れた耐久性を提供します。この設計はまた、クリーンルーム・クラス6での動作のためのEMC規格を満たしています。さらに、このツールは静かでエネルギー効率が良いように設計されており、プロセスのパフォーマンスを損なうことなく、低い総所有コストを提供します。