中古 NTS SP510T-AFCLOM #293643167 を販売中

NTS SP510T-AFCLOMは、さまざまな半導体材料において、完全に平坦な超音波表面を製造するために設計された、業界をリードするウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。直径150mm （6インチ）から600mm （24インチ）までの加工が可能です。システム全体が空気圧式で、モジュラー設計により生産ラインへの柔軟な統合が可能です。ウェーハはフラットモジュラーキャリア間でサポートされており、異なるウェーハ形状、厚さ、サイズに対応するために再プログラムすることができます。ウェーハは回転スピンドル上に配置され、マウントされたキャリアは、研削工程中のディスク表面の断片化を避けるために、各ディスクを固定位置に保ちます。上部と下部のホイールはウェーハを保持し、2つの精密加工および同心円を介して駆動します。車輪の圧力は0。03 MPa （4。3 psi）から0。15 MPa （21。8 psi）に調節可能です。SP510T-AFCLOMはまた表面の欠陥か不均一な部分を取除くのに使用することができる側面か縦の切刃を特色にします。ウェーハの端からの材料の制御された取り外しは調節可能なキャリアの回転率および研摩の供給率によって達成されます。フラットラッピング、ファインラッピング、研磨、単段塗布研磨など、幅広い研削、ラッピング、研磨に対応しています。研削速度は0。01 μ m/min単位で制御でき、研磨力は0。03 MPa （4。3 psi）から0。15 MPa （21。8 psi）まで調整可能です。研磨除去材料の広い範囲が利用可能であり、異なる穀物とグリットレベルを使用することができます。さらに、SP510T-AFCLOMcanはそれぞれ最大10ステップで最大9プログラムを節約し、生産効率と柔軟性を提供します。これは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えたタッチスクリーンディスプレイを介したセットアップ手順によって実現されます。最後に、マシンはリモート操作とデータ交換のためのPCと統合することができます。NTS SP510T-AFCLOMwafer研削、ラッピング、研磨ツールは、今日の市場で最も先進的なものの1つです。半導体材料に精密な表面仕上げを必要とする用途に最適で、平らな超薄膜の表面を完璧かつ効率的に生産できます。