中古 NTS SL510T-AFCLOM #293643166 を販売中

NTS SL510T-AFCLOMは、ウエハ研削、ラッピング、研磨に特化した特殊装置です。直径25mm〜150mmの幅広いウエハーを製造できる自動プロセス制御機です。このシステムには、真空ハンドリングステーションと自動チャックが装備されており、ウェーハ基板の安全なグリップが可能です。ウエハ基板の自動ローディング機構を備えています。また、粗研削用の研削ステーション、微細研削用のラッピングステーション、研磨用の研磨ステーションも備えています。研削ステーションには、水平および垂直に調整可能なチャックが装備されています。様々な厚みのウエハに対応できます。研削ステーションは、ダイヤモンドスタッド研削盤を使用して、ウェーハから材料を除去します。研削ディスクは、ウェーハの両面を同時に研削するように調整することができます。ラッピングステーションには、ウェーハ基板の均一なラッピングを保証するために、リトホラッピングプレートと高精度のインデックスマシンが装備されています。片面ラップと両面ラップの両方に対応できます。ラッピングプレートには交換可能なカッティングインサートが取り付けられており、目的のラッピング仕上げを実現します。研磨ステーションには、研磨テーブルと原子化された研磨媒体が装備されています。ウェーハ両面の研磨と研磨を同時に行うことができます。片面研磨と両面研磨の両方に対応できます。ウェーハの均一な研磨を確実にするために、研磨媒体が噴霧されます。このツールには、速度、時間、圧力などのプロセスパラメータを調整するための高度な制御アセットも含まれています。これにより、一貫した再現性のあるプロセスが保証されます。すべてのパラメータは自動的に監視および記録され、必要に応じてモデルから取得できます。SL510T-AFCLOMは、電子アプリケーション用のウェーハ基板を製造するための強力で汎用性の高いマシンです。精度と再現性に最適化され、オペレータの介入を最小限に抑えた高スループットを実現します。そのコンパクトな設計は小さな領域に収まることができ、装置は大量のウェーハ研削、ラッピング、および研磨ニーズのための完全なソリューションを提供します。