中古 NTS S610T-AFCLOM #9248793 を販売中

NTS S610T-AFCLOMは、シリコン、ゲルマニウムなどの基材を研磨し、高い均一性と再現性を持つ極めて厳しい公差を持つウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウエハーは直径50mm〜300mm、厚さ3。5mmまで用意可能です。S610T-AFCLOMは、より正確で一貫した反復可能な研磨のための高度な研磨技術とプロセス制御ユニットを採用しています。このマシンは6軸ロボットサーバーで構成されており、ラッププレート上のウェーハの正確な位置決めを保証します。また、自動化されたカセットツーカセットプロセスでは、最大10個のウェーハを一度に無人で動作させることができます。ロボットアームは、さまざまな治具仕様に対応するために簡単に再配置することができます。ウェーハは据え付け品によってしっかりと固定され、6軸の動きは所望の圧力を加えるために使用されます。機械は高速で回転し、材料を取除き、望ましい磨く終わりを達成するのに研摩のグリットおよびスラリーの組合せを使用する2つのラッププレートが装備されています。各ラッププレートには、負荷、速度、圧力などの主要な研磨パラメータを監視するクローズドループ・マシンが含まれています。これらのパラメータを調整して、プロセスを正確に制御し、ウェーハごとに望ましい表面仕上げを実現することができます。NTS S610T-AFCLOMは、清潔さと安全性のためにも設計されています。圧縮プレートは、外部の粒子からの潜在的な汚染を排除し、クローズドループのフィードバックツールは、機械を正確かつ安全に動作させます。アセットは、安全扉、境界安全ライトグリッド、および余分な保護のための緊急停止ボタンを備えた、低ノイズ、完全に溶接された安全キャビネットに囲まれています。結論として、S610T-AFCLOMは、業界で最も要求の厳しい要件を満たすように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルです。この装置は高精度、再現性、柔軟性を備えており、高品質で高耐性のウェーハの自動生産を可能にします。クローズドループのフィードバックシステム、安全機能、清潔性により、汚染のない確実な動作を保証します。