中古 NTS NSL-2020 #293765738 を販売中
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ID: 293765738
Lapping machine
Lapping plate: Φ510×Φ180 (IDxOD)
Ring size: Φ200xΦ162
Lapping plate: 20-150 RPM
Motor drive power: 2.2 kW, 220 V, 3 Phase
Water cooling temperature
Accessories:
Dust cover
Duct hood system
Precision variable multi-step pressure mechanism
Standard plate facing
Grooving system
Wafer thickness eccentricity prevention function: 2 µm
(2) Holder pneumatic pressures
Vacuum chuck type
(2) Holder motor drive systems
Oscillation system
Control: PLC and programming touch screen (HMI)
Consumables:
Copper: 20" x 1/2"
Ceramic conditioning ring NCR-103 for 20"
Diamond slurry roller pump drop system
Auto-stirrer
(2) Slurry tubes: 15 m
Facing bite radius: 60 x 0.3
Power supply: 220 V, 3 Phase, 50/60 Hz.
NTS NSL-2020は、あらゆる材料からのウェーハの大量または少量生産に理想的な革新的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは非常に薄く（5µmのように低い）、高品質の表面仕上げを提供します。NSL-2020は、スピンドル速度とワーク位置を自動制御するための2軸数値制御（NC）を備えており、高い精度と再現性を提供します。ウェーハ研削、ラッピング、研磨に関しては、高い柔軟性とコスト削減を実現します。NTS NSL-2020にはクーラントリザーバーとフィルターユニットが装備されており、ウェーハの効率的な冷却を可能にし、熱衝撃から保護し、寿命を確保するのに役立ちます。それはまたより一貫した、制御可能な粉砕および磨くプロセスを可能にします。冷却剤の貯水池およびフィルター機械はまた研摩の塵および空気の他の汚染物から粉砕および磨く部品を保護するのを助けます。NSL-2020はまた、研削工程と同じ速度で研削、ラッピング、研磨のための研磨化合物を供給するインライン研磨コンパウンドフィーダを備えており、複数のウェーハにわたって一貫した仕上がりを保証します。このインラインフィーダは、プロセス全体のトータルサイクルタイムを短縮するのにも役立ちます。また、NTS NSL-2020は高解像度のCCDカメラを搭載しており、細かい欠陥を簡単かつ正確に検出することができます。これは、研削、ラッピング、研磨プロセス中に高度な品質管理を確保するのに役立ちます。ウェーハの損傷や機械のメンテナンスを防ぐために、摩耗監視ツールがNSL-2020に含まれています。このアセットは、研削および研磨部品の摩耗を定期的にチェックし、このデータを自動的にPCにダウンロードします。NTS NSL-2020には、リアルタイムのプロセス監視と制御を可能にするPLCコントローラも装備されています。このコントローラを使用すると、ウェーハの特定の要件に応じて、研削、ラッピング、研磨プロファイルを変更およびカスタマイズできます。これらのすべての機能は、高精度と高精度を兼ね備えており、NSL-2020はあらゆる材料からのウェーハの量産および/または少量生産のための理想的なソリューションになります。また、欠陥を最小限に抑え、高い均一性を備えた、一貫して高品質のウェーハを保証します。
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