中古 NTS NSCL-1100 #293650742 を販売中
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NTS NSCL-1100ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、さまざまな材料やアプリケーションに高度な技術を適用するために設計されています。この高度なシステムは、効率的で正確な平坦制御、最適な表面仕上げ、優れた表面均一性と品質を提供します。NSCL-1100は高精度の多軸CNCコントローラを搭載し、位置決め解像度は0。001 μ mです。これにより、非常に安定した正確な研削とラッピング/研磨プロセスを可能にします。高度なCNCコントローラにより、オペレータは表面粗さ、研削速度、送り速度などのパラメータを簡単にプログラムおよび設定できます。NTS NSCL-1100は、最大11インチのウェーハ径を備え、厚さ1000 μ mまでのウェーハを研削、ラップ、研磨できます。ウェーハはベルト駆動のスピンドルに搭載され、研削およびラッピング/研磨段階でウェーハを回転させます。NSCL-1100は高性能真空ユニットを備えており、研削媒体とラッピング/研磨スラリーを効率的に除去し、クリーンでデブリのない表面を実現します。さらに、このマシンは、さまざまな研削または研磨媒体やスラリーと互換性があり、最適なプロセス性能を可能にします。NTSのNSCL-1100はステンレス鋼の内部が付いている頑丈なアルミニウムフレームと組み立てられ、すべての部品は塵および土から保護されます。ウェーハハンドリング用のステンレス製ウェーハトレイ、研磨剤の冷却または加熱、ラッピング/研磨スラリー用のチラー/ヒータータンクが付属しています。NSCL-1100にはスピンドル負荷と圧力センサーが内蔵されており、正確で再現性のあるラッピング/研磨操作を可能にします。NTS NSCL-1100は、ファーストレベルのラッピング/研磨から高精度のウェーハ研削まで、さまざまなプロセスに最適なツールです。高度なCNCコントローラ、効率的な真空ツール、および研削/研磨材料の様々なにより、NSCL-1100は優れた性能と品質を提供します。
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