中古 NTS NSC-2028O #9279255 を販売中

ID: 9279255
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2015
CMP Polisher, 6" 2015 vintage.
NTS NSC-2028Oは、強力で高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、高精度で超高速のウェーハ処理用に特別に設計されています。あらゆる種類の半導体や結晶材料を高精度かつ高精度に加工することができます。NSC-2028Oは、サブミクロン平坦性と表面均一性を達成することができます。NTS NSC-2028Oは、大容量のウェーハに最適な24インチのサイズのウェーハキャリアを備えています。この機能は、正確なウェーハアライメントと均一な処理に特に重要です。また、ダイヤモンド粒子研磨モジュールを搭載し、優れた研磨精度を実現しています。高度のダイヤモンドの懸濁液機械は懸濁液のダイヤモンドの粒子を握り、すべての粒子圧力が一貫していることを保障するためにそれらをウェーハの表面に均等に分散するようにとりわけ設計されています。このツールは、自動スラリー制御も備えています。これにより、スラリーの正確な配信レートを可能にし、さまざまな種類のウェーハ材料間のスラリー交換を迅速かつ容易にすることができます。この自動制御は、ウェーハ間の処理時間を短縮するのにも役立ちます。NSC-2028Oには、粒子や破片の圧力を低レベルで維持するのに役立つ高度な真空アセットも装備されています。これにより、モデルに最適な作業環境が確保されます。NTS NSC-2028Oには、高品位のサーボ制御ドライブを駆動する精密設計の単回転モータが含まれています。この強力なモーターにより、材料を損傷することなく、ウェーハの強力な研削とラッピングを可能にします。この装置には、最大のプロセス変動と適応性を可能にする可変速度調整も含まれています。最後に、NSC-2028Oは、自動ウェーハ検査モジュールを含むことによって、その名前まで住んでいます。この高度なモジュールは、研削、ラッピング、研磨プロセスが完了した後、ウェーハを徹底的に検査することができます。モジュールには、高解像度の複数のカメラが搭載されており、優れた解像度と精度を提供します。これにより、ウェーハの最終納入前に欠陥や欠陥を迅速に特定し、修正することができます。
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