中古 NTS NML-3020 #9364614 を販売中

NTS NML-3020ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、利用可能な最も先進的なシステムの1つです。このシステムは、半導体ウェーハ上の平坦面と曲面の両方を精密に研磨するために設計されています。NML-3020には、ウエハ裏面のラッピング用の120mm精密ラッピングプレート、ウエハ裏面研磨用ダイヤモンドディスクホイール、エッジラウンディング、ノッチエリアを装備しています。NTS NML-3020ユニットには、2つの垂直スピンドル（100mm）と1つの水平スピンドル（50mm）が装備されており、多方向研削と研磨が可能です。研削スピンドルはブラシレスサーボモータによって駆動され、高速かつ正確な位置決めが可能であり、2つの研削ホイールは異なる特性とサイズを持っています。メインラッピングホイール（ダイヤモンドディスクホイール）は、ダイヤモンド、アルミナ、酸化ケイ素、多結晶ダイヤモンド（PCD）などの幅広い研磨材料を使用した研磨ダイヤモンドリングで構成されています。研削力は圧力トランスデューサによって制御され、研削砥石のたわみを自動調整し、ステップオーバーを防止します。ウェーハディスクホイールは、マシン内のメインラッピングホイールにロードされ、正確かつ再現可能な研削とラッピングのための特定の圧力に設定することができます。NML-3020には、2つのガスアトマイザーと、ウェーハエッジとノッチエリアの均一な研磨用の回転速度セレクターボックスが装備されています。リアルタイムビデオフィードは、研磨プロセスの監視のために利用可能です。このマシンには、すべての研磨座標を保存し、将来のプロセスの参照としてそれらを取るためのウェーファーマップソフトウェアプログラムが装備されています。NTS NML-3020は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨の最高品質を確保するために、さまざまな安全装置と対策で設計されています。このツールには、振動センサー、温度および圧力モニター、およびリーク検出器、およびほこり処理アセットが装備されています。NML-3020モデルは、誘電エッチング、バリアエッチング、金属化、化学/機械研磨、背面研磨および研磨、カバレッジエッチングなど、さまざまな用途に適しています。この装置は、信頼性の高い研磨と高い歩留まりの両方に最適な結果を提供するように設計されています。