中古 NTS Nano Surface SL910-AFCL #9226058 を販売中

NTS Nano Surface SL910-AFCLは、NTSによって設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置で、ウェーハの研削、ラッピング、研磨をコスト効率よく繰り返し行うことができます。このシステムは、高度な半導体アプリケーション用のウェーハを準備するために設計されており、サイクル時間の短縮と歩留まりの向上に役立ちます。このSL910-AFCLには、最大24 kWの電力を生成できる高性能のファン冷却電動モータが搭載されています。RCGT （Rapid Convergence Grinding Technology）を採用しており、高速で効率的な研削のためのAt-speedパターンマッチングを備えています。オンボードPCベースのユニットは、研削および研磨プロセスの制御を最適化することができるリアルタイム調整発振器を備えています。さらに、異なるラッピングフィルムの統合を可能にする統合ラッピングフィルムマシンを搭載し、さらなるプロセス最適化を可能にします。SL910-AFCLの利点には、レベル、角度、複雑なマルチステッププロセスなどの複数の精密制御オプション、およびロードロッカー、リフェレックス、ウェーハ薄型化などの高度なオートメーション機能が含まれます。さらに、サブ2 nmの表面仕上げ結果を達成することもできます。このツールは、大量生産のために高い歩留まりをもたらす厳格なプロセス制御と再現性を提供するだけでなく、ユーザーが自分のプロセスでより少ないステップを踏むことができます。スループットを最大化し、コストを最小限に抑えるために、SL910-AFCLにはウェーハレベリングとポリッシングシーケンスを最適化するために、調整可能な速度と温度プリセットが取り付けられています。さらに、圧力と力のレベルを動的に維持するためのオートバランサ資産と、ウェーハチャックを自動的に持ち上げて下げるためのモーター付きプラテンリフトとエアリフトを備えており、より効率的で高速なレベルとポリッシュプロセスを実現しています。自動ウェーハメモリ保持モデルが用意されているため、ウェーハのポリッシュレベルを記憶し、より高速なサブシーケントプロセスを正確にリコールできます。全体として、Nano Surface SL910-AFCLは強力で高度で費用対効果の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置であり、プロセスの歩留まりを改善し、サイクル時間を短縮できます。