中古 NTS Nano Surface SL910-AFCL #9132557 を販売中

NTS Nano Surface SL910-AFCLは、シリコンウェーハ製造の厳しい要件に対応して設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ナノメートルレベルの表面仕上げを備えた高品質のシリコンウェーハを製造することができ、最も敏感なデバイスを製造するための信頼性の高い効率的なツールをメーカーに提供します。このユニットは、モーター付きヘッドを備えたラッピングプレートと、さまざまな複合研削およびラッピングディスクを使用して、ウェーハの両側に完璧な仕上がりを作り出します。機械の特長は、自動フラッシュ制御液体（AFCL）技術で、機械加工中にラッピングプレート表面に化学試薬を自動的に分配し、完成品の表面仕上げと全体的な品質を向上させることができます。セラミック研削盤は、ウェハプロセスごとに必要な研削とラッピングの適切なレベルを設定するために調整可能です。研磨ディスクは、表面仕上げと在庫除去を微調整するための粒度測定の広い範囲を持っており、さまざまな仕上げを達成することができます。この自動化されたアセットは、単一の制御点から操作でき、プロセス全体を通じてオペレータを導く直感的なインターフェイスを備えています。Nano Surface SL910-AFCLの可変速度駆動により、ラッピングプロセスを精密に制御できるため、ジョブに必要な正確な表面仕上げと厚さを簡単に実現できます。このモデルは、ウェーハ上の一定の圧力を自動的に維持し、指定された表面仕上げと厚さの抽出を確実にします。温度はウェーハの熱利得を防ぎ、熱損傷を最小限に抑えるために制御されます。SL910-AFCL装置にはさまざまな安全機能があり、機械加工されている材料だけでなく、オペレータに保護を提供します。真空システムを備えたダブルドアアクセスは、機械が稼働している間に粒子が作業エリアに逃げるのを防ぎます。ユニットはまた、ウェーハへの静電損傷を防ぐために、ESD要件に従って設計されています。全体として、NTS Nano Surface SL910-AFCLは信頼性が高く効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨機であり、ナノメートルレベルの表面仕上げで高品質のシリコンウェーハを製造することができます。その自動フラッシュコントロール液体技術やその他の機能により、ウェーハ上で一貫した正確な仕上がりを維持することができます。直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えたこのSL910-AFCLは、さまざまなアプリケーションに最適な資産です。