中古 NTS 36G DMP SL910-AFCL #9268069 を販売中

NTS 36G DMP SL910-AFCLは、NTS Japanが高品質のウェーハを加工するために設計した最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、36インチ径のウェーハ研削ホイールと、8。5インチ径のラッピングと研磨ホイールで構成され、互いに同時に回転し、接触したままにします。研削ホイールはACモーターで駆動され、ラッピングと研磨ホイールはブラシレスDCモーターで駆動されます。研削砥石は、ダイヤモンド粒子とポリウレタンエラストマーを組み合わせて使用し、3500 rpmの速度で正確にウェーハを研削することができます。コンベヤーベルトの配列は機械へのウェーハの滑らかなローディングおよび荷を下すことを保障します。2つのホイールユニットは、ウェーハ表面の損傷を最小限に抑えながら、さらに複雑な形状の研削を保証します。ラッピングホイールと研磨ホイールは、ダイヤモンド粒とゴムボンドを組み合わせて研磨します。研削プロセスが終了すると、ラッピングと研磨ホイールは6000 rpmの速度で回転します。研削後に残された表面残留物を除去し、透明感のあるなめらかで光沢のある仕上がりを実現します。このホイールは最小ラップ長があり、研磨工程で発生する損失を低減します。このプロセッサには、ウェーハのサイズに合わせて調整できる可変出力を備えた6台のRFマシンが装備されています。機械は更に調節可能な速度および角度の真空のターンテーブルから成っています。極めて大きなウェーハでも優れた表面仕上げを実現します。全体として、36G DMP SL910-AFCLは、デジタルディスプレイのようなユーザーフレンドリーな機能を備えた半自動操作を提供する高度なツールです。統合された資産と効率的な出力により、ウェーハの正確な研削、ラッピング、研磨が保証され、最高品質の結果を達成するのに役立ちます。