中古 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9299972 を販売中

ID: 9299972
CMP Polisher.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676は、半導体ウェーハの研削、ラッピング、研磨用に特別に設計されたコンピュータ制御機器です。このシステムは、1回のパスでウェーハ表面から3ミクロンまで除去することができ、さまざまな目的の結果を得るための可変圧力と速度設定を提供します。IPEC Avantgaard 676は、標準およびカスタム研削ホイール、ラッピングおよび研磨ツールの選択により、研削、ラッピング、研磨プロセスの精度を向上させます。WESTECH Avantgaard 676は、構成可能なモジュラー設計を提供します。ユーザーは、所望の圧力または速度レベル、さまざまなロータリーおよびツーリングオプション、および自動サンプルローディングおよびアンローディングシステムを選択する柔軟性を備えています。SPEEDFAM Avantgaard 676は、直径150mmまでのウェーハ用に特別に設計されており、シリコンやシリコンベースの材料を含む幅広いウェーハ基板の機能を備えています。ユーザーフレンドリーなHMI (Human-Machine Interface)ディスプレイと、プロセスパラメータを制御する自動機能を備えています。さらに、NOVELLUS Avantgaard 676は、現在のパフォーマンスを監視および管理するための強制センサーを備えています。このマシンは、さまざまな研削、ラッピング、研磨プロセスを実行するためにあらかじめプログラムされており、最大100のユーザー定義レシピを保存できます。また、ウェーハの安全性と完全性を確保するための多目的な安全機能も備えています。Avantgaard 676は、3相220V 60Hz ACモーターを搭載しており、動作速度にわずか5分かかるように設計されています。さらに、標準的なウェーハグリッパーは、サンプルサイズが時間とともに変化する場合でも、安全で信頼性の高いサンプルマウントを提供します。これにより、ユーザーはセットアップ時間を最小限に抑えながら、バッチ実行ごとに正確なサンプルアライメントを確保できます。NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676は、半導体ウェーハ加工アプリケーションに最適なウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。機械はウェーハの準備のための最高品質の結果を保障するために精密、速度および長寿を提供します。ユーザーフレンドリーなHMIディスプレイ、自動化された機能、プログラマブルなレシピにより、IPEC Avantgaard 676は、研削、ラッピング、研磨プロセスの柔軟性、精度、再現性を向上させます。
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