中古 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9276834 を販売中
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ID: 9276834
CMP System, parts machine
With MP400 Polisher
Interconnecting cables
Throughput: >40 Wafers/hr
Fully automated cassette to cassette (C2C)
(4) Wafer planarizers
Endpoint detection
Dual pad conditioning
Electrical cabinet
Spray box assembly
Automated wafer handling robot
Wet cassette assembly
Dual cassette basin
System Control (SysCon)
Control station
Head assembly
Internal bearings
Polish dynamics
Polish pad
Endpoint detection system
Manual
Includes:
Main polishing unit
Chase control panel
GENMARK Gencobot 3L / 4 Robot with end-effector
(25) M-825 Wafer address sensors
Chemicals:
Hydrogen peroxide concentration: 7.4% to 50%
W2000 Semi-sperse: DI Water and proprietary metal oxide
Power supply: 120/208 VAC WYE, 3 Phase, 60 Hz, 60 A.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676は、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、さまざまなプロセスを正確に制御し、最高品質の結果を保証するように設計されています。Avantgard 676には、半導体ウェーハの表面を研削するために使用される高性能ダイヤモンド研削ヘッドが装備されています。このヘッドは、0。4ミクロン未満の粒度を達成することができます。Avantgard 676には、最大120 rpmの可変速度を持つラッピングユニットも装備されており、ウェーハを滑らかで均一な表面に研磨するために使用されます。このラッピングマシンは、0。6ナノメートル以下の表面粗さを実現するヘッドを備えています。Avantgard 676には、強力な4点サーボ制御の研磨ツールが装備されています。この資産は、特許取得済みの「サーボ研磨」技術を利用しており、オペレータは研磨プロセスを大幅に制御できます。Avantgard 676は、加圧窒素ジェットを使用して、研削およびラッピング処理後にウェハ表面に残る微小粒子を除去する高度なIPEC洗浄モデルも備えています。この技術は、ウェーハ表面ができるだけ清潔で汚染のないようにするのに役立ちます。さらに、Avantgard 676はユーザーフレンドリーで高効率であるように設計されています。そのオペレータインターフェイスは、機器の制御に簡単にアクセスできるタッチセンシティディスプレイを備えており、特定のアプリケーション用のプリセットプログラムを備えています。また、Diagnosticsシステムが内蔵されており、問題が発生したときに人員を認識して警告することができます。機械はまたダウンタイムを減らし、粉砕、ラッピングおよび磨くプロセスが滑らかに動いていることを保障するのを助ける広範囲の監視および警報単位が装備されています。全体として、IPEC Avantgaard 676は、オペレータが半導体ウェーハを迅速かつ正確に研削、ラップ、研磨することを可能にする先進的な機械です。このツールは、強力なダイヤモンド研削ヘッド、ラッピングアセット、および精密なプロセス制御を提供する研磨モデルを備えています。さらに、ユーザーフレンドリーで使いやすいインターフェイスと監視システムを備えており、ダウンタイムを削減し、最高品質の結果を保証します。
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