中古 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #293635157 を販売中

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676 （AG-676）は、半導体ウェーハの精密加工用に設計された自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ミクロンレベルの精度と再現性を実現するハイテク機器です。AG-676は、ワークピースを処理するための強力なロボットアーム、フィードバック制御と自動故障検出のためのビジョンベースのシステムなど、さまざまな高度な機能を備えています。交換可能な研削ディスクアセンブリのセットを備えたサーボ制御の研削ヘッドが用意されており、それぞれが異なるウェーハ処理要件に対応するように設計されています。研削ヘッドは、研削ディスクを高速で振動させ、回転角度を正確に調整する機能を備え、高い精度と再現性を実現しています。さらに、ヘッドは、プロセスの中断を最小限に抑え、プロセスの鋸刃と研削工程間の迅速な切り替えを可能にするために、研削ディスクの高速な変更をサポートしています。また、AG-676には真空マルチスロットポリッシングテーブルが内蔵されているため、さまざまなダイサイズで迅速かつ一貫した操作が可能です。このユニットは、HookとLoopまたは磁気的に取り付けられた研磨パッドのいずれかをサポートすることもできます。また、研削から研磨ヘッドまでウェーハを搬送する高速ロボットアームをAG-676しています。ロボットアームは、高い速度で振動してワークを確実かつ正確にグリップする機能を備えており、粒子汚染を発生させることなく、輸送に最適なメカニズムを確保します。これにより、サイクル時間が大幅に短縮され、マシンのスループットが向上します。また、AG-676はオプションのビジョンツールを備えており、プロセス前およびプロセス中にウェーハの自動欠陥検出および検査を行うことができます。このアセットは、高速でウェーハの画像をキャプチャし、画像を比較して基準を設定することができ、欠陥を迅速かつ正確に検出できるフェイルセーフモデルを提供します。このAG-676は優れた価値を提供し、ウェーハ研削、ラッピング、研磨作業を管理するための効果的で信頼性の高いソリューションです。さらに、一般的に使用されるあらゆるタイプの半導体ウェーハ形状に対応できるため、効率的かつ効果的なデバイスであり、スループットの向上とコストの削減を実現します。