中古 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #293622358 を販売中

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676は、半導体ウェーハの研削、ラッピング、研磨に使用される高度な産業機器です。これは、優れた両面幾何学的精度と最も困難な材料の残留表面欠陥のためにセンサ制御された最高精度を達成するために設計されています。本体に接続された6軸ロボットアームをベースにしており、スピンドルと本体の間でウェーハ交換が可能です。この機械は多数の紡錘を支えることができ、ウェーハのサイズおよび材料の広い範囲を収容するように設計されています。各スピンドルは独立して動作するように設計されており、使用可能なスペースを効率的に使用できます。高速サーボモータ駆動によりスピンドルの速度と位置を制御します。スピンドルは4軸の回転テーブルに取り付けられており、時計回りと反時計回りの両方の方向で最大3600 rpmで回転することができます。これにより、完璧な角度と研削速度を実現できます。IPEC Avantgaard 676には、ウェーハの温度を正確に制御できる特許取得済みの熱伝導ヘッドが装備されています。これにより、ワープやストレスを避けるために、ウェーハ全体を均一に冷却できます。また、粉塵を最小限に抑えるために、効率的な粉塵抽出ツールを組み込み、作業環境を安全に保ち、空気中の粒子から解放するのに役立ちます。また、独自の検査カメラを搭載しており、検査結果の品質を確認することができます。最良の結果を得るために、ウェーハの粗さを正確に測定できる高精度のスタイラスプローブを搭載しています。WESTECH Avantgaard 676は、高速切削、正確な温度制御、完璧な研削角度、および最高品質の保証の組み合わせにより、半導体ウェーハの研削、ラッピング、研磨に最適です。