中古 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #9212984 を販売中

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、半導体およびエレクトロニクス産業における表面処理のための非常に汎用性が高く、技術的に高度なシステムです。PAD、 ARX、 BOPPなど、用途に応じた幅広いウエハにRmax/Rz ≤ 8.0µmの表面仕上げを施し、直径12インチまでのウエハを研磨・研磨することが可能な自己完結型ユニットです。150mm/secまでのスピードでの研削、ラッピング、研磨が可能で、高性能性と精度により300mmウェーハでの使用に強く推奨されています。IPEC 676は最新の研磨技術を使用しており、多くの機能と機能を提供しています。堅牢なデュアルスピンドル設計により、2つのウエハを同時に研削、ラッピング、研磨することができます。高剛性のXYステージは、ウェーハの正確かつ正確な動きを保証し、感度の高いZステージは、ウェーハの範囲でより細かい表面平面化を可能にします。研削/ラッピング/研磨テーブルは、汚染および歪みに耐性のあるBLC-40エポキシ樹脂ベースから作られており、ウェーハ全体に均等な研磨および研磨圧力を保証する特許取得済みのストレートエッジホルダー機も内蔵しています。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスにより、オペレータは機械を正確にプログラムし、ウェーハの性能を監視することができます。ウェーハ研削、ラッピング、研磨に加え、RIE、 DRIE、エッチング加工が可能です。これには、オペレータとウェーハの両方の安全性を確保するために、埋め込み式の音響モニター、結合防止センサー、およびダスト管理システムなどの完全な安全機能が含まれています。このツールには、監視操作、診断、ドキュメントなど、さまざまな機能を可能にするPC制御機能も装備されています。SPEEDFAM 676は、ウェーハ表面処理アプリケーションの範囲に最適な信頼性と効率性の高い資産です。