中古 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #9091546 を販売中

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676は、半導体製造および材料開発アプリケーションに優れたフライス加工能力を提供するように設計された、生産クラスのマルチコンポーネントウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、さまざまなサイズと形状のウェーハに幅広い研削、ラッピング、研磨作業を行うように設計されており、厳格なプロセス制御と高い歩留まりを実現しています。IPEC 676は2つの主要コンポーネントで構成されています。1つ目は、研削とラッピング作業を収容する囲まれた作業室です。チャンバー内にはワークテーブルが最大40個のウエハを内蔵し、集塵ユニットによりワーキングゾーンを清潔に保ちます。ツールヘッドはテーブルの周りを移動して、高精度の研削ホイールと研磨パッドを使用して、ウェーハを研削してラップします。さらに、テーブルは調整可能で、小型および大型ウェハの最高精度と均一な研削およびラッピング操作を保証します。2つ目のコンポーネントは、ツールヘッドの動きと圧力設定を監視、制御、および調整する高度なプログラミングとオートメーション機能を提供する統合制御マシンです。このツールは、データ入力とレビュー、高度にカスタマイズ可能なデータ管理、およびパフォーマンス最適化アルゴリズムのためのグラフィカルインターフェイスを備えています。WESTECH 676は、最も要求の厳しい要件を満たすことができる完全に自動化された資産です。統合された部品により優れた精度と品質を提供し、高度なオートメーション機能により、オペレータは研削とラッピングプロセスを完全に制御できます。さらに、高度にカスタマイズ可能なデータ管理およびパフォーマンス最適化アルゴリズムにより、プロセスの状態を迅速にテストおよび識別し、テスト結果を明確かつ簡単に分析できます。SPEEDFAM 676は、半導体および材料業界の大小のウェハ研削、ラッピング、研磨要件に最適なソリューションです。