中古 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293830228 を販売中

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676 Equipmentは、高度な薄型ウェーハ加工用に設計された堅牢で多段ウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。直径6インチまでの基板に、信頼性が高く高精度な研削、ラッピング、研磨を提供し、1,200〜4,000 RPMの適応速度範囲を提供します。システムは、駆動機構、ラッピングヘッド、研磨ヘッドを備えたベースユニットで構成されています。ウェーハのローディング/荷を下すことのための多数の腕；そしてさまざまな付属品の部品。ラッピングヘッドと2つの研磨ヘッドは、基板加工に必要なプラットフォームを提供します。ラッピングヘッドには、不透明な真空ベロウユニットが含まれており、スラリー液滴がウェーハに堆積したり、真空ベロウに閉じ込められたりするのを防ぎます。調整可能な速度範囲（1,200〜4,000 RPM）により、ラッピングと研磨時間を正確に制御できます。2つの研磨ヘッドは、各ウェハに最大200ポンドの力を加えることができ、加工中の耐久性と精度を提供します。さらに、IPEC 676 Machineには、使用済み研削材を収集するための真空ツールと、部品温度を制御する空気資産が含まれています。空気モデルは110°Cの下の温度を保つように設計され、循環の空気容積は気流の効率を最大にするために調節可能です。ウェーハは、調整可能なクランプによってラッピングヘッド上に正確に配置され、機械は手動または自動操作のいずれかに設定することができます。軽いカーテン、非常停止装置、および機械の安全を保障するために潜在的な危険を絶えず評価する危険分析回路を含む安全機能が機械によく装備されています。WESTECH 676装置は精密薄型ウエハ加工に適しており、半導体・超伝導装置の量産に最適です。