中古 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293814146 を販売中

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、さまざまなサイズの半導体ウェーハを加工するために設計された汎用性の高い装置です。このシステムは、集積回路の製造に関わるすべてのプロセスに、費用対効果の高いシングルユニットプラットフォームを提供するように設計されています。IPEC 676は、機械的および化学的プロセスの組み合わせを使用して、望ましい表面仕上げを実現します。この機械には、生産サイクルで必要とされるさまざまな工具を移動して配置するように設計された6軸ロボットアームが装備されています。アームには、真空マウントされたウェハチャックとさまざまな工具スピンドルが含まれています。さらに、空気圧学を統合したプロセスチャンバー、可変段の速度制御と再循環、さまざまなプロセス要件のための標準的なアクセサリの範囲があります。WESTECH 676には、従来のラッピングシステムと同様のユニークなコンピューター制御研削工具が含まれています。チャック内にウェーハを配置し、ロボットアームを研削ホイールに移動させます。特殊研削研磨材を使用して、研削砥石の速度とウェーハへの圧力を制御します。研削工程が完了すると、ロボットアームはウェハを化学ラッピング工程に移動します。ウエハーに化学エッチング剤を導入し、残った残骸や残留物を研削工程から除去します。ラッピングプロセスが完了すると、研磨ステップが開始されます。アームは様々な研磨剤で研磨された研磨パッドに対してウェーハを配置し、所望の研磨効果を実現します。研磨工程はさらにウェーハ表面を洗練し、ラッピング段階から残された残骸を除去します。研磨が完了したら、ウェーハ表面に最終的なリンスを塗布します。この洗浄は、研磨残留物を除去するだけでなく、クリーンで滑らかな表面仕上げを提供するように設計されています。NOVELLUS 676は、複雑な集積回路を処理するための汎用性が高く、効率的で費用対効果の高いプラットフォームを提供するように設計されています。このアセットは、機械的および化学的技術の両方を使用して所望の表面仕上げを実現し、実行される特定の集積回路に応じて、研削、ラッピング、研磨などのさまざまなプロセスをサポートすることができます。堅牢な設計と高品質のコンポーネントを備えた676ウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルは、半導体ウェーハ製造のための効果的なソリューションです。