中古 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293762280 を販売中

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676は半導体産業のために設計された非常に洗練されたウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。この6軸マシンは、シリコン、ゲルマニウム、ガリウムヒ素およびその他の化合物を含む幅広い材料のダイヤモンド研削、CMP研削、ラッピング、研磨を介して、2次元および3次元ウェハの両方を処理することができます。IPEC 676システムは、多層薄膜、石英、さらにはサファイアウエハでも0。0005インチ以上の精度に到達することができます。このユニットには、小型および大型ウェハの剛性スピンドルドライブ、ロボティクス、オートメーション、および自動ハンドリングが装備されています。信頼できる自己診断機を備えており、動作中の不規則性を検出し、プロセスパラメータを自動的に調整して最適なパフォーマンスと効率を実現します。WESTECH 676ツールは、ウェーハグラインダーやその他の資産コンポーネントを完全に制御できる統合されたコンピュータおよびネットワーキングシステムで設計されています。ローカルでネットワーク化されたコントロールにより、モデル機能の完全な自動化とリモート監視が可能になります。さらに、ウェハグラインダーには、プロセス制御を改善するためのデータ収集装置が内蔵されており、各プロセスのステップと重要なデータポイントに関するオペレータのリアルタイムのフィードバックを提供します。安全面では、676システムには、セーフティマット、カバー、エアドア、その他の安全装置など、いくつかの安全機能が装備されています。ウェハグラインダーにはフェイルセーフコンテナが装備されており、使用される可能性のある破片やクーラントまたは潤滑剤が含まれています。内蔵の温度、圧力、ストレスセンサーにより、潜在的なリスクを自己監視、検出、保護できます。これにより、オペレータの潜在的なエラーや環境や人員への潜在的な危険を排除することができます。全体として、SPEEDFAM 676は半導体産業のために設計された高度な多軸マシンです。これは、比類のない精度、制御および安全機能を提供し、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨用途に最適です。