中古 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293761797 を販売中

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676は、複雑な半導体加工用に設計された高性能で包括的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、半導体、航空宇宙、自動車、医療などの幅広い産業向けに、低次元および非均一ウェーハを含むさまざまなウェーハの研削、ラッピング、研磨に適しています。単位は高度のプロセス制御、自動化されたCIPの更新、自動プロセス管理機械およびオン機械調理法の維持が装備されています。このツールは高度なプロセス制御ソフトウェアを使用しており、高精度でセットアップ時間が短縮された製品の製造において正確な精度を達成することができます。さらに、アセットは、所望の結果を達成するために必要なプロセスツールの動き、測定、およびその他のパラメータの統合監視および制御を提供します。このモデルは、ウェーハチャック、ウェーハ輸送装置、ラッピングおよび研磨ピン、プリアライメントユニット、真空システム、および2つの大型CNC制御サーボモータを含む多数のコンポーネントを統合しています。このユニットは、1時間あたり最大60ウェーハのスループット率を考慮して設計されており、柔軟なレシピ管理とプログラミングを提供し、RAおよびRz測定を含むさまざまな研磨および研磨作業を実行できます。さらに、ウェーハのクリーニングと準備のための6インチのチャンバーが装備されています。IPEC 676には、人員だけでなくツールの安全性を確保するために、監視およびアクセス資産（MAS）とモデルパラメータ、プロセスパラメータ、およびオペレータアクセス情報を監視するための複数のセンサーが装備されています。MASはまた、データロギングを含むリモートプロセス監視を可能にし、プロセスを追跡するのに役立ちます。この装置は、既存のプロセス機器との統合が容易であり、さまざまなウェーハやプロセスを受け入れることができる高度に調整可能なプラットフォームを提供します。モジュラー設計により、運用上のニーズやプロセス要件が変更される場合、システムのアップグレードと交換が可能になります。さらに、ユーザーが任意のマシンの問題を検出し、必要な修理を行うことができる高度な診断とメンテナンス機能を提供します。WESTECH 676は、プロセスパラメータを最適化することにより、ダウンタイムを最小限に抑え、メンテナンスを低減し、高精度な処理と信頼性の高いパフォーマンスを実現します。