中古 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9226639 を販売中

NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9226639
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1998
Tungsten CMP system, 6" 1998 vintage.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 4軸ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、最先端のウェーハ加工機です。ウエハサイズは、直径300mmまでの幅広いサイズに対応できるように独自に設計されています。ダイレクトドライブロボットワークハンドリングユニット、高精度、高速、オンザフライラッピング、研磨ヘッドを備えています。この機能の組み合わせは、ユーザーに優れた精度と再現性を提供します。IPEC 472は直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)によって駆動され、オペレータは簡単にマシンをカスタマイズして制御することができます。WESTECH 472には、緊急停止スイッチやドア上の複数のインターロックなど、複数のオンボード安全システムが組み込まれています。粉砕チャンバー用の真空アキュムレータも備えており、ほこりのない操作が可能です。SPEEDFAM 472は、正確な回転速度とモーションコントロールを提供する強力なCNCコントローラによって駆動されます。このツールはさらにマルチゾーン温度制御アセットを組み込んで、ウェハ全体にわたって均一な熱条件を確保します。これにより、ラッピングと研磨プロセス全体で最大の精度が保証されます。NOVELLUS 472には、メディアグレードを簡単に切り替えることができる自動補充モデルが搭載されています。472の高度な速度と精度により、ウェーハ研削とラッピングの両方のアプリケーションと、最も要求の厳しいアプリケーションのための超微細な研磨アプリケーションを可能にします。NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472は、最大の柔軟性と精度を実現する4軸制御を搭載しています。最大12,000RPMの洗練されたデュアルヘッドラップと研磨スピンドルを搭載し、ウェーハの向きと材料タイプの組み合わせに対応しています。統合された研削チャンバと複数のラッピングヘッドは、毎回均一で一貫した結果を提供します。結論として、IPEC 472は強力で高度なウェーハ処理装置であり、ユーザーに毎回優れたラッピングと研磨結果を提供するように設計されています。直感的なデザインと簡単なカスタマイズにより、高速で精度の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨用途に最適なソリューションです。
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