中古 NOVELLUS Avanti 472 #9225556 を販売中

NOVELLUS Avanti 472装置は、半導体材料の製造加工用に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。オペレータの介入がほとんどなく、高品質で均一に研磨されたウェーハを迅速かつ効率的に提供するように設計されています。NOVELLUS AVANT I472は、直径300mmまでのウェーハ加工が可能です。Avanti 472には、ウェーハディスク、スラリー、ダイヤモンド研磨剤、セラミックタイル、スポンジなどのプロセスメディアが必要です。電気化学機械研磨、化学機械研磨、超滑らかなバックグラインドなど、さまざまな種類のラッピングプロセスを実行する機能を持っています。本体の主成分には、研磨・研磨機、研磨面を保持するためのプラテン、回収・再利用のためのスラリー・リサイクル機などがあります。機械の磨く部屋は圧力、持続期間、速度、等のようないくつかの調節可能な変数と、オペレータが粉砕、ラッピングおよび磨く操作のための厳密な条件を置くことを可能にする設計されています。ユニットは均一なラッピング圧力を確保することができ、さらにウェーハの変形を防ぐのに役立ちます。AVANT I472には、プロセスパラメータを監視し、プロセスの変更をオペレータに通知するさまざまなセンサーが装備されています。ウエハの品質を常にチェックし、研磨プロセスの進捗状況をリアルタイムで把握できる高度なウエハモニタリングツールを備えています。さらに、アセットにはソフトウェアインターフェースモデルがあり、便利にプログラムして監視することができます。NOVELLUS Avanti 472には、OSHA要件を満たし、オペレータの安全を確保しながら研磨作業を行う統合安全装置が装備されています。このユニットは、信頼性と耐久性を保証するステンレス鋼で構成されています。このシステムは操作が簡単で、効率的なクリーニングユニットを備えているため、ウェーハの表面がほこりがなく安全に処理できます。NOVELLUS AVANT I472は、半導体材料の製造加工用に設計された信頼性とコスト効率の高い機械です。このツールは、オペレータの介入を最小限に抑え、プロセスパラメータをより大きな制御することで、高品質の研磨ウェーハを迅速かつ簡単に製造できるようにします。