中古 NOVELLUS Avanti 472 #9225550 を販売中

ID: 9225550
ヴィンテージ: 2000
CMP Polisher 2000 vintage.
NOVELLUS Avanti 472は、ウェーハの精度と完全性のためのますます厳しい要件に追いつく製造設備を支援する高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。NOVELLUS AVANT I472は、業界をリードするソフトウェアと最先端のロボティクスと高精度のモーションシステムを組み合わせた多次元設計により、現代のウェーハ製造に不可欠なツールです。472は多軸ワークエンベロープを備えており、各軸平面に沿って最大2度の自由度でウェーハを仕上げることができます。研磨工具の動きは、デジタルコマンドシグナルとサーボモータによって正確に制御されます。これは、スピンドル駆動工具の可変スピードコントローラと相まって、滑らかで正確な反復可能なプロセスを提供する能力を生み出します。472には、E-Stopや安全PLCなどの多くの安全機能、ウェハマーキングやフルプロセスオートメーションのオプションが含まれています。NOVELLUS 472にはユーザーフレンドリーなコントロールパネルもあります。使いやすいグラフィカルインターフェイスにより、ユーザーはシステムを素早くセットアップするだけでなく、各ウェーハの進行状況を迅速かつ正確に監視することができます。472には、異なるサイズと厚さのウェーハ用のプリプログラムプロセスのライブラリもあります。これにより、オペレータは手元のタスクに集中し続けることができ、毎回同じパラメータを入力する必要がなくなります。Avanti 472はまた、ウェーハの品質を向上させるためにいくつかの施設を提供しています。例えば、472はプログラム可能なグリット要素を使用しており、一貫性のあるラッピング動作を保証します。472には高度な3D検査ユニットも搭載されており、計画ビューや地形の特徴を高精度に測定できます。これにより、完成したウェーハの完全性を確保できます。全体として、AVANT I472はウェーハ製造設備に不可欠なツールです。多軸ワークエンベロープ、デジタルコマンド信号、可変速度制御により、比類のない精度と再現性を提供します。ユーザーフレンドリーなコントロールパネルとあらかじめプログラムされたプロセスにより、オペレータは手元のタスクに集中することができます。さらに、3D検査機を組み込むことで、完成したウェーハの完全性を確保することができます。
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