中古 NOVELLUS Avanti 472 #9225535 を販売中

NOVELLUS Avanti 472ウェーハ研削、ラッピング&研磨システムは、2つの主要コンポーネントで構成されています。NOVELLUS AVANT I472 Grinderは、生産性を向上させるために設計された完全に自動化された大容量の精密表面研磨機です。GaAsやSiなど、最も要求の厳しいリソグラフィ基板の研削、ラッピング、研磨用に設計されており、高いプロセス再現性を備えています。グラインダーには、6つの高流量デリバリーノズルと自動制御システムが装備されており、研削、ラッピング、研磨速度と圧力を正確に制御できます。また、ウエハの歪みや試料の取り扱いを可能にする独自のプロセスチャンバーを備え、オペレータやエレクトロニクスにも安全な環境を提供します。Avanti 472 Polisherは、研磨ブラシと研磨ディスクを使用して、最も困難な基板のために一貫して高いレベルの研磨性能に到達する高速ベンチトップ研磨機です。ブラシは、残りの表面のアスペリティをすべて除去し、完全に平らで、ラップされ、磨かれた表面につながります。ポリッシャーには、再現可能な結果を保証するプロセス制御システムが装備されており、正確な圧力と速度制御、ならびに基板の積み下ろし用に構築されたユニークなプロセスチャンバーが可能です。結論として、AVANT I472は信頼性と高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨システムであり、さまざまなアプリケーションで使用できます。GrinderとPolisherはそれぞれ自動制御システムを備えており、プロセスの再現性と高い生産性を実現しています。NOVELLUS Avanti 472は、6つの高流量デリバリーノズルとユニークなプロセスチャンバーを備えています。