中古 NELMOR RG1215-M1 #9114116 を販売中

NELMOR RG1215-M1は、半導体加工、MEMS製造、およびその他の関連アプリケーションで最大限の性能を発揮するように設計された強力なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、高度な2軸研削ヘッド、両面ラッピングテーブル、およびオプションのホイール研磨ステーションで構成されています。2軸研削ヘッドは、研削モータ、研削ホイール、高精度ロータリーサーボモータで構成されています。ロータリーサーボモータは、0。01°刻み精度で研削砥石の回転を制御することができます。精密な制御により、ウェーハの正確かつ高性能な研削が可能です。砥石の摩耗を低減するため、低速での研削にも適しています。研削ヘッドの自動Z軸を内蔵することで、ウェハ上の特徴を精密に研削することができます。ラッピングテーブルは、フリーフローティングダイヤモンドパッドを使用して、両側のウェーハの平らなラッピングと研磨を可能にするように設計されています。各ラッピングテーブルには最大20個のウェハを同時に収納することができ、高いスループットを実現しています。内蔵のデータロギングユニットは、処理時間、ラッピングモード、応力などのデータを提供します。オプションのホイール研磨ステーションを使用して、ラップまたはグランドウエハを仕上げることができます。ウェーハ両面で同時に高精度な表面研磨が可能です。ステーションには、研磨モーター、4つの研磨ホイール、スピンドルモーターが含まれています。スピンドルモータと研磨モータの回転運動を0。1°単位で正確に制御し、高精度で再現性のあるプロセスを実現します。結論として、RG1215-M1は半導体加工のための優れたウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。高精度、高精度、再現性のある研削、ラッピング、研磨が可能です。