中古 NANOTECH 380FDCR #88764 を販売中

NANOTECH 380FDCRは、タイトなフラットネス仕様で完成したウェーハを製造することができる多機能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。シリコン、ゲルマニウム、その他の半導体材料、および光電子基板を安全かつ効率的に処理できます。標準の3軸研削、ラッピング、研磨プロセスを提供することに加えて、380FDCRは異なるサイズと形状のサーフェスを作業するために必要な8軸回転自由を提供します。この機能により、高精度の配置フィーチャーとタイトな寸法公差も可能になります。ロータリーインデクサ、自動ツーリングチェンジャー、サーマルプロファイル監視ユニットを装備しているため、さまざまな形式でサンプルを生成する柔軟性があります。NANOTECH 380FDCRはフラットウエハに加え、任意の厚さと曲率でサンプルを加工することができ、精密な研磨が可能です。このマシンには最大2つの研削ヘッドを装備でき、標準ローダー容量は最大40個です。この効率的なプロセスにより、スクラップレートが低く高いスループットレートが可能になり、最大の歩留まりとコスト削減が可能になります。380FDCRには、接着制御用の高効率パーティクルネゴシエーションツールと、ポストプロセス洗浄用の基板洗浄アセットもあります。このモデルには、蒸気脱脂タンクとドライウェーハ洗浄用の温度および湿度制御クリーンチャンバーが含まれています。プロセス精度を確認するために、ウエハ上で超高精度の計測を行うOPTRA-for-Waferを搭載しています。このプログラムは、一貫したプロセス結果を確保するために、寸法や平坦度などのプロセスパラメータのインラインモニタリングにも使用できます。NANOTECH 380FDCRは、半導体および光電子部品の製造プロセスを合理化するために設計された包括的で汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。高度な設計、柔軟性、高い加工精度により、高品質な部品を生産しながら業務を最適化することができます。