中古 NANOTECH 380 #119018 を販売中
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NANOTECH 380は、半導体、MEMS、光学デバイス製造における用途向けの精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは堅牢でモジュール性の高い構造で構築されており、粗研削から超微細な研磨およびラッピングまで、高精度と高性能を提供します。このユニットは、ダイヤモンド、窒化ホウ素、炭化ケイ素などの材料からなるナノスケールのブレードを使用して、ウェーハの表面を粉砕、ラップ、研磨します。ロボットアームは、ナノスケールのブレードを高速かつ高精度に取り付け、制御する役割を担っています。さらに、ロボットアームはウェーハとブレード表面の間に摩耗粒子を堆積させることができます。マシンには設定可能なワークフローエンジンがあり、すべての操作が可能な限り最高の精度とスループットで実行されるようにします。これには、プロセスの結果を予測するための強力なシミュレーション機能が含まれます。包括的なセンサとコントローラを使用して、プロセスのクローズドループのフィードバック制御を行い、高いツール精度と再現性を保証します。380は、直感的なユーザーインターフェイスと、さまざまな種類のウェーハジオメトリやアプリケーションに対応するための複数の設定可能なオプションを備えています。このツールは、高度なプロセス監視を容易にし、プロセスパラメータと条件をリアルタイムで最適化できます。NANOTECH 380アセットは、メンテナンスとダウンタイムを最小限に抑えるために設計されており、より高い稼働時間とワークフロー効率を提供します。このモデルは、指の保護、低リスクのブレードフィード、および複数の安全インターロック機能などの高度な安全機能も備えています。この装置は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨において高精度と再現性を必要とするアプリケーションに最適なツールです。その一貫した精度と性能により、380はウェーハやその他の材料のナノスケール加工を実現するための完全に信頼できるソリューションとなります。
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