中古 NANOTECH 140GPM #9312859 を販売中

NANOTECH 140GPMウェーハ研削・ラッピング・研磨装置は、152mmまでのウェーハサイズで、平面性、ステップ高さ制御、表面品質に優れた表面仕上げに基板を正確に研削、ラッピング、研磨するために使用される、コンパクトで高精度な装置です。このシステムには直感的な自動調整研削ヘッドが装備されており、異なる厚さの研削圧力を自動的に調整するようにプログラムすることができ、1ステップで最適な研削および研磨プロセスを提供します。140GPMは、多軸ダイヤモンドツール、高速スピンドルモータ、および高解像度エンコーダと5アーク秒の位置決め精度と同期回転と発振軸で構成されています。これにより、工具摩耗を最小限に抑えた精密なウェーハのマイクロラッピングが可能になります。X&Yの最高速度28,000rpmで、NANOTECH 140GPMは最高速度で最高の表面仕上げを達成することができます。また、低温動作を可能にするエアベアリングを採用しており、精密なウェハグラインドの実現に最適です。140GPMは、最高温度40°Cを効果的に維持し、プロセス全体を通してプロセス温度を安定した状態に保つために、工業用グレードフィルターを備えた高度な水冷構成を提供します。さらに、ウェーハハンドリングマシンは、ウェーハを自動的にロードおよびアンロードするために設計された専用の並列ハンドリングメカニズムと、正確な位置決めのためのピック&プレイスメカニズムを備えています。NANOTECH 140GPMは、プロセスパラメータをリアルタイムで測定する高精度のインラインメトロロジーツールを使用しています。この計測資産は、適切なプロセス制御と精度を確保するために、ラッピングプロセスの固有値を監視するために使用されます。さらに、オフライン測定モデルにより、ウェーハの表面仕上げと平坦性を正確かつ迅速に測定できます。最後に、140GPMはプロセス全体を制御するためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えています。これは装置をセットアップし、ウェーハのサイズおよび望ましい表面の終わりに従って粉砕変数を調節する簡単な方法を提供します。制御システムはまた、ラッピングと研磨プロセス全体の追跡可能な記録を維持するためにデータストレージ機能を可能にします。