中古 NAICHI FUJIKOSHI USP-9B #9166539 を販売中

NAICHI FUJIKOSH I NAICHI FUJIKOSHI USP-9Bは、超高精度ウェーハ加工用に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高精度で再現性の高いプロセスにより、新興半導体デバイスの生産に最適です。振動、回転、リニアドライブなど、さまざまな動作システムを使用して、各ウェハを正確に研磨、ラップ、研磨します。ウェーハ研削を開始するには、ウェーハをチャンバーに置き、ウェーハホルダーに固定します。その後、ウェハの端に振動またはリニアドライブの動きを使用して研削ホイールが直面します。高出力で精密な研削ホイールを提供し、良好な丸みと表面粗さでウェハの研削を可能にします。研削プロセスは、単位の制御機械によって調整され、研削ホイールのモーションパラメータの正確な調整が保証されます。次に、ダイヤモンド研磨材で構成されたラッピング媒体を使用して、同じチャンバーでウェハラップ処理を行い、優れた平坦性と表面仕上げを実現します。このプロセスは、所望の仕上げに依存して、回転またはリニアドライブの動きを利用することによって実行されます。その後、ウェーハは制御された環境で正確にラップされ、望ましい仕上がりを実現します。プロセスの最後のステップは、ウェーハの研磨です。ダイヤモンドスラリーは、ウェーハの表面を研磨するために使用され、再び同じチャンバーで行われます。研磨プロセスは、精密で反復可能なモーションパラメータによって調整され、完成したウェーハの優れた表面特性を提供します。完成したウェーハは、ツールから取り外され、検査されます。USP-9Bにより、優れた表面精度、ウェーハ仕上げ、ジオメトリを備えたウェーハの生産が保証されます。この資産は、厳しい公差と一貫した結果が最も重要な半導体デバイス用途などの高精度産業に最適です。