中古 NAICHI FUJIKOSHI SLM-40T #9156017 を販売中

NAICHI FUJIKOSHI SLM-40Tは、壊れやすい繊細な半導体ウェーハの加工を低コストで可能にする高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムの機能により、業界標準を超える表面品質で、精密で反復可能な仕上げを提供できます。シンプルなラッピングと研磨からウェットケミカル研削まで、幅広い加工モードを備えており、すべて特定の用途に合わせて構成することができます。SLM-40Tには、最大8つの200mmサイズのウェーハを同時に収容できるモジュラーウェーハキャリアが含まれています。高速・固定周波数研削盤、スラリーの流れを制御するための高出力ダイヤフラム圧力ポンプ、3段の高い再現性、3軸キャリングアームユニットを採用しています。このマシンは強力な4軸CNCサーボツールによって駆動され、これとロードセル資産の組み合わせにより、動作中の粉砕力を正確に制御できます。動作中、ウェーハはウェーハカセットに精密にロードされ、次にキャリアにロードされます。研削工程では、3軸キャリングアームによりウェーハを確実に固定し、研削盤をウェーハと接触させて表面力を制御します。ウェーハと粉砕機の間の均一な接触圧力は、各ウェーハの一貫した均一な仕上がりを保証します。研削プロセスが完了すると、ウェーハは精密ラッピングおよび研磨プラットフォームにロードされます。このプラットフォームは、低周波振動と真空モデルを組み合わせたフローティングマウントを備えており、研磨およびラッピングプロセス中に各ウェーハを確実に所定の位置に保持します。さまざまな研磨パッドや研磨スラリーが用意されており、ウェーハ表面の微細な研磨を一貫した仕上がりで実現します。NAICHI FUJIKOSHI SLM-40Tウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、さまざまな脆弱で敏感な半導体ウェーハ材料で高品質の表面仕上げを保証する信頼性と費用対効果の高いシステムです。高精度で再現性のある研磨および研磨機能を備えたSLM-40Tは、正確で一貫した費用対効果の高いウェーハ加工を行う半導体メーカーにとって信頼できる選択肢です。