中古 NAICHI FUJIKOSHI SLM-140 #9050531 を販売中

ID: 9050531
ヴィンテージ: 1990
Polisher Ring 1990 vintage.
NAICHI FUJIKOSHI SLM-140は、基板を精製するための統合された2段階プロセスとして使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。エアアクチュエータと高精度サーボモータを一体化した使いやすいマシンをベースにしています。SLM-140は、2インチから8インチまでのさまざまなウエハサイズの効率的で正確な研削、ラッピング、研磨用に設計されています。このシステムは、ウエハ基板全体でハイエンド品質を保証するために、多くの機能を組み合わせています。セグメント化された研削ホイールは、ウェーハ表面全体に均一な結果をもたらし、均一でない研削によるウェーハの破損を排除します。ラッピング/研磨ステージには、精密圧力制御スピンドルヘッドが含まれており、表面粗さを低減し、部品ごとにハイエンドの一貫性を提供します。NAICHI FUJIKOSHI SLM-140は、ウェーハ基板の両側に0。3 μ mの粗さ平均(Ra)測定が可能です。また、大容量ウェーハを高速で処理するように設計されており、最高品質の仕上がりを実現しています。SLM-140は、さまざまなアプリケーションで使用できるように、ビジョンマシンだけでなく、さまざまなオートメーションオプションが装備されています。統合ビジョンツールを使用して、ウェーハ基板上の特徴を見つけ、検査し、表示することができます。このアセットにより、迅速かつ正確なマシンのセットアップ、モデル診断、およびキャリブレーションも可能になります。自動化オプションには、コンピュータ数値制御(CNC)機能、相互接続された機械と機械の通信、および研削およびラッピング/研磨段階のパラメータに関する詳細な情報を提供する監視装置が含まれます。NAICHI FUJIKOSHI SLM-140は、効率的かつ正確な研削、ラッピング、およびさまざまなウエハサイズの研磨のために設計された先進的なシステムです。セグメント化された研削ホイール、精密圧力制御スピンドルヘッド、統合ビジョンユニット、およびオートメーションオプションにより、SLM-140はハイエンド品質を高速で提供することができます。
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