中古 NAICHI FUJIKOSHI NSP50N #9143489 を販売中

NAICHI FUJIKOSHI NSP50Nは、半導体製造プロセスで使用するために設計された、精密で多機能なウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。完全に自動化されたシステムを特徴とし、厚さ300mmまでの2「、3」、4「及び6」正方形のウエハを処理できます。ロボットアームを中心とした1軸を採用し、様々な部品の表面仕上げの品質を一貫して提供するように設計されており、シングルウエハ処理とマルチサイドウエハ処理の両方に使用できます。NSP50Nの研削工程は、材料の高い除去率を提供し、優れた表面仕上げを提供するように設計された回転スピンドルを使用しています。また、2つのフレキシブルサポートディスクを備えているため、在庫を最小限に抑え、ウェーハの破損を最小限に抑えます。ラッピングと研磨ステージは、ウェハの厚さや地形の広い範囲に非常に効率的で均一なプロセスを提供する10段階の連続動作を利用しています。また、ウエハーの破損を最小限に抑え、品質の高い表面仕上げを実現するウォータージェットポンプと冷却ユニットをNSP50Nしています。ウォータージェットポンプは、さまざまなノズルサイズを使用して、プロセスパラメータを調整できます。さらに、NSP50Nには、作業環境の汚染を最小限に抑えるための集塵機が含まれています。NAICHI FUJIKOSHI NSP50Nは、ウェーハをセンタリングするための高度なロボットアームも備えており、さまざまなウェーハの種類やサイズにわたって正確なセンタリングと一貫した表面精度を実現します。この機能により、研削/ラッピング/研磨ツールに対してウェーハ加工面の正確かつ再現性の高い位置決めが可能になり、所望の結果を一貫して達成することができます。最後に、NSP50Nは、その使用法が厳格な工業規格に従うことを保証するために、さまざまな安全機能を備えています。これには、緊急停止ボタン、ライトビームセンサーを内蔵した緊急検査窓、および余分な保護のための連動安全カバーが含まれています。NAICHI FUJIKOSHI NSP50Nはまた、機械の効率的な操作とプログラミングを保証する直感的なフルグラフィックスユーザーインターフェイスを備えています。要約すると、NSP50Nは半導体製造プロセスで使用するために設計された高度で多機能なウェーハ研削、ラッピング&研磨ツールです。単軸センタリングロボットアーム、回転スピンドル研削、10段連続モーションラッピング研磨、ウォータージェット冷却、集塵、正確なウェハセンタリング、各種安全機能を備えています。このアセットにより、ウェーハサイズと厚さの広い範囲にわたって、効率的で信頼性の高いウェーハ処理と一貫した品質の表面仕上げが保証されます。