中古 NAICHI FUJIKOSHI LPD 300 #9223002 を販売中

ID: 9223002
Polishers Touch screen Pump.
NAICHI FUJIKOSHI LPD 300は、自動生産環境向けに設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、高度なマイクロエレクトロニクスアプリケーションのための複雑なパラメータを提供するために十分に洗練されており、優れた表面品質と改善された均一性を達成するために、ウェハレベル研削、ラッピング、および研磨プロセスに使用することができます。高精度のアライメントカメラユニットと7軸ロボットを搭載し、高速かつ正確なロボット移動を保証し、すべてのプロセス操作に信頼性と再現性の高いインターフェースを提供するために最適化されています。内蔵された光学プロファイル測定機により、迅速なウエハおよびダイレベル検査が可能で、研削および研磨プロセスの両方に迅速にフィードバックできます。これにより、人間の介入を最小限に抑え、プロセス制御を向上させます。この機械は、CNC精密加工部品から構成された機械フレームを備えており、各軸の正確かつ効率的な制御のための電気駆動を備えています。さらに、研削圧力調整ツールを使用すると、プロセス要件の変化に合わせてほぼ最適な精度を得ることができます。このマシンは、すべてのプロセス操作を簡単に制御するための完全に自動化されたプログラム可能なインターフェイスを提供します。NAICHI FUJIKOSHI LPD-300は、作業環境を最適化するための調整可能な温度制御アセットで設計されており、また、プロセスの安全性を向上させるための集塵モデルが装備されています。さらに、研削および研磨工程でウェーハ表面への熱影響を最小限に抑えるための冷却装置を備えています。LPD 300は、信頼性と高品質のウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスを提供するために、平坦面と曲面の両方に使用できるユニークなミラー素子を備えた両面研削盤を備えており、ウェーハの均一性を向上させます。さらに、手動制御用の制御モジュール、および完全自動生産用の統合されたプログラマブルロジックコントローラ(PLC)ユニットも装備されています。全体的LPD-300は、高度な自動生産環境のニーズに対応するために設計された、高性能、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。ウェーハの粒子サイズ、均一な表面仕上げ、形状、寸法を厳密に制御する必要があるプロセスに最適です。
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