中古 NAICHI FUJIKOSHI LPD 300 #9122938 を販売中

NAICHI FUJIKOSHI LPD 300は、半導体業界で使用される研磨・研磨用に設計された包括的なウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。NAICHI FUJIKOSHI LPD-300は、自動化されたプロセスと高精度機能により、ウェーハの研削と研磨に効率的かつ費用対効果の高いソリューションを提供します。このシステムには、シーケンシャル研削、ラッピング、研磨に設定できる2つのヘッドスタイル研削ヘッドが装備されています。1つ目のヘッドは、研削、ラッピング、研磨の粗いまたは前処理の段階に使用され、2つ目のヘッドは微細な加工段階に使用されます。調節可能な研削ローラーの速度は10から350のrpmにどこでも置くことができます、粉砕、ラッピング、および磨くプロセスのよりよい制御を可能にします、カルーセル式の装置は300mmまでさまざまなウェーハのサイズを支えます。このユニットには、手動のクリーニングとメンテナンスの必要性を排除するセルフクリーニング設計も装備されています。洗浄プロセスは、破片や汚染物質を除去し、ウェーハを汚染から保護し、収率を高めることができる高速振動を含みます。このマシンには、ウェーハがプロセスの1つの段階から次の段階に確実かつ安全に輸送されるようにする自動ウェーハトランスポートツールも含まれています。例えば、穴あき研削パッドは、均一な研削、ラッピング、研磨プロセスを提供するのに役立ちます。アセットには、特定のプロセス要件を満たすためにさまざまな設定で動作することを可能にする自動エンジンも含まれています。プログラム可能な研削モード、ラッピングモード、ウエハーの形状、サイズ、材質に合わせて調整できる研磨モードが含まれます。これにより、LPD 300は様々な製造環境での使用に適しています。LPD-300には、欠陥検出と診断を可能にする高解像度イメージングモデルも含まれています。また、イメージング装置は、最終ウェーハが研削、ラッピング、研磨中のエラーから解放されるようにするのにも役立ちます。NAICHI FUJIKOSHI LPD 300は、半導体業界のニーズに合わせて設計された包括的なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。自動化されたプロセス、セルフクリーニング設計、正確な制御機能、自動化されたウェーハトランスポートユニットは、研削、ラッピング、研磨用の効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。