中古 NAICHI FUJIKOSHI 9B-5L/P #9073244 を販売中

NAICHI FUJIKOSHI 9B-5L/Pは、東京を拠点とする株式会社Naichi Fukikoshiが製造するウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。半導体基板などの硬質・軟質材料の精密研削、ラッピング、研磨が可能です。9B-5L/Pは30KWのパワフルなスピンドルモータを搭載し、最大150mmまでの径のウエハ加工が可能です。ウエハの精密研削、ラッピング、研磨を0。1 µm-0。002 µmの仕上げに可能にする0。01 µm-0。1 µmの作業範囲を備えた静水圧ベアリングユニットを備えています。さらに、自動ウェーハローダー、自動表面検査ツール、インプロセスモニタリングアセット、および研削工具を冷却するための産業用グレードのチラーで強化されています。また、研磨面のクロスコンタミネーションを防止するスラリー制御モデルを搭載しています。9B-5L/Pの全体的な構造には、ワークステーション、ラップステーション、ポリッシングステーション、コントロールユニットの4つの主要コンポーネントが含まれています。ワークステーションは、スピンドルモータ、高精度リニアガイド、および高速、高精度の電子コントローラを含む機器の主要コンポーネントです。1,000〜6,000rpmの制御が可能で、振動抑制機能を内蔵しています。ラップステーションには、ラッピングプレート、ダイヤモンド含浸メッキ研磨剤、パッドホルダー、クーラントシステムをサポートする2つのラップホルダーがあります。研磨ステーションは、研磨パッドを保持し、パッドに力と圧力を提供し、インプロセスモニタリングユニットを収容します。コントロールユニットには、データ取得、データ処理、結果表示のためのユニットが含まれています。NAICHI FUJIKOSHI 9B-5L/Pは全体的に堅牢で高精度なウェーハ研削、ラッピング、研磨機であり、従来の方法に比べて時間とコストを大幅に節約できます。基板、金属、セラミックスの精密加工に適しており、ミクロンレベルの表面仕上げが可能です。