中古 NAGASE INTEGREX W-4 #170039 を販売中

NAGASE INTEGREX W-4は、全自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高度な機械機能で設計されており、均一性、一貫性、精度のための超高精度基準を満たすことができます。システムは、XYモーションステージにウェーハをロードすることから始まります。ローディングが完了すると、ウェーハは自動的に研削ステージに搬送されます。ここでは、エアベアリングスピンドルが超高速回転を提供し、パーティクル発生リスクの低いハイレベル仕上げを実現します。研削は、メインシャフトの回転速度、位置、ダウンフォースのモニタリングによって制御されます。研削プロセスが完了すると、ウェーハはラッピングステージに搬送され、マウントされます。ここでは、ウェーハを駆動し、粒子の放出を最小限に抑えるために、リニアモーションベルトを使用します。ラッピングスピンドルは、すべての軸にアクティブ振動減衰ユニットと精密サーボモータを搭載して設計されており、可能な限り最高の精度を提供します。最後に、ウェーハは研磨段階に搬送されます。ナノメートルレベルの精度を提供するダイナミックエアスラスタを備えたリッジドスチール研磨ディスクを採用しています。研磨圧力は正確に制御することができ、仕上げを制御しながら不完全さを排除します。W-4はローラーイジェクション機を使用してウェーハを取り出し、1台のコンベアを使用してプロセスの残りの部分を最大限の精度で移動させます。また、粒子発生を抑制するためのクリーンルーム対応設計と、機器と人間の両方を突然の損傷から保護するための安全資産を備えています。NAGASE INTEGREX W-4は全体的にウェーハ研削、ラッピング、研磨の高性能モデルです。高効率で最適な速度と精度を提供するように設計されており、半導体および医療機器業界で人気のある選択肢となっています。