中古 MIROKU MLS-600-4 #9223163 を販売中

MIROKU MLS-600-4は、1回の作業で最大600mm径のウェーハを加工できるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、研削ステーション、研削/ラッピングステーション、研磨ステーション、クリーニングステーションの4つのステーションで構成されています。研削ステーションは、ユニットの上部に配置され、7000 rpmまでの速度で回転する研削ホイールで構成されています。このステーションは、ウェーハを所望の厚さまで研削する責任があります。ウェーハに水平方向に動くアームを使用して圧力をかけ、所望の厚さを確保します。研削/ラッピングステーションは、研削ステーションの下に位置し、メディアホイールが取り付けられている回転ラッピングプレートで構成されています。ラッピングプレートは0〜1200rpmの速度で回転し、メディアホイールはアップダウンストロークで移動してウェーハ上にラッピングアクションを作成します。このラッピングアクションは、ウェーハ表面から残留粉砕残骸を除去し、表面を滑らかにします。研磨ステーションはラッピングステーションの下にあり、反転研磨ホイールとバックホイールで構成されています。研磨ホイールは、ミラー仕上げにウェーハを研磨するために使用され、バックサーホイールはウェーハの丸さを維持するのに役立ちます。研磨ホイールは0〜3000rpmの速度で動作し、目的の表面仕上げを実現するために調整可能です。最後に、クリーニングステーションはマシンの下部にあり、スピンリンスドライヤーで構成されています。当ステーションでは、研磨後のウエハ表面の残骸を洗浄し、残りの粒子を除去する遠心抽出ツールを装備しています。全体的MLS-600-4は、最大600mm径のウェーハを加工できる効率的かつ高精度なウェーハ研削、ラッピングおよび研磨資産であり、プロの表面仕上げを保証するために研削ホイール、ラッピングプレート、研磨ホイール、バックホイール、スピンリンスドライヤーなどの機能を備えています。