中古 MIROKU MLS-600-4 #9120453 を販売中

MIROKU MLS-600-4は、ウェーハ仕上げ時に一貫した高品質な結果を得るために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。自動化されたこのシステムは、簡単にウェーハを処理するためのロボットアームを含む、研削および研磨ツールの様々な機能を備えており、直径6インチまでの片面および両面ウェーハの両方を処理することができます。9軸DSPコントローラは、優れた再現性で正確な動きを保証します。MLS-600-4は、ステッピングモーターとボールネジの両方で駆動される安全で効率的なウェハハンドリングのために、2つのin-situ-gridウェハチャックを使用しています。2つのブラシレスDCモータは、シングルモジュールで最高速度200rpmを実現します。また、自動ウェハマッピングユニットを備えたグラフィカルユーザーインターフェイスが付属しているため、ウェハローディングとプロセスの迅速なセットアップが可能です。研削および研磨シーケンスは、MIRO-C1000マイクロコンピュータによって制御されます。MIRO-C1000は、モーションコントロールのためのリアルタイムアルゴリズムに基づいており、モーターヒーター制御機と研磨および研磨機能の範囲を備えています。このツールはまた、研削と研磨スピンドルとヘッドの広い範囲をサポートし、研削研磨研磨材の選択。MIROKU MLS-600-4は、ダストレベルが低く、カーボンダストレベルが低い、精度と一貫性のために設計されています。1ng/cm2以下のウェーハ清浄度を有し、信頼性の高いウェーハ仕上げ結果を保証します。この資産はまた、安全のために設計されており、ハンドヘルドリモート、オーバートラベルアラーム、緊急停止用の安全スイッチなど、さまざまな安全機能を備えています。MLS-600-4は、研削、ラッピング、研磨など、さまざまなウェーハ仕上げプロセスに最適です。それは信頼でき、使いやすく、精密および再現性は良質のウエファーの仕上げの結果を保障します。