中古 MELCHIORRE SP3 1000 #171213 を販売中

MELCHIORRE SP3 1000は、半導体およびエレクトロニクス業界の部品や材料の精密加工に使用されるように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、平面を高精度に加工するための幅広い機能を提供するように設計されています。このユニットは、表面の粗さとプロファイル、ウェーハの薄型化、ウェーハの後部薄型化、異なる速度でのラッピングおよび研磨、および材料除去率を含む、あらかじめ設定された仕様にサーフェスを研削、ラッピング、研磨することによって機能します。さらに、シリコン、サファイア、ガラスなどの様々な材料と同様に、異なる厚さとサイズのウェーハを処理することができます。このツールは、HMIコンソールを備えており、研削速度、湿式または乾式を含むさまざまなパラメータを制御することができ、さまざまな種類の材料を処理するための自動プログラムループを設定することができます。このアセットにはデータ収集モデルもあり、表面粗さ、プロファイル、および材料除去率を簡単に測定および制御できます。この装置は、研削およびラップ加工に高精度のダイヤモンド研削砥石を使用しており、最大20Nの正確な供給力を制御しています。その後、ラッピングプロセスに研磨手順が続き、一定のトルクモーターを使用してプロセス全体に均一な研磨力を適用します。研削・ラッピング加工は非常に高精度で実現し、最大300mmまでのウエハサイズの加工が可能で、フルウエハでは5分未満の高速加工が可能です。このユニットは、自動ローダ/アンローダー、検査ユニット、CMPマシンなどの追加の外部システムと組み合わせることもでき、さらなる汎用性を提供します。SP3 1000ツールは、部品や材料の精密加工と研磨を提供するために、高度な技術の範囲を利用しています。これらの技術とユーザーフレンドリーなHMIコンソールを組み合わせることで、ウェーハの研磨と研磨に信頼性と再現性の高い結果をもたらし、高品質の製品と材料の生産を可能にします。